行吧。盛明安，示意?后研发团队各就各位，盯前方全的光源系统设备，沉着冷静的说?：“开始验收。准备——”

“已启动数据记录，光源验收记录，功率消耗记录。”

“靶材装置确定?装载完毕。”

“电源确定?。”

“三万瓦二氧化碳脉冲激光预状态。”

“……”

接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏，每一句报告简短有力，错落有序，整洁飞快，无端染在场其他等待验收成果的研发团队成员张期待的心?。

“启动二氧化碳脉冲激光！”

话音一落，盛明安开关钮，众人抬看向前方恒温无尘实验室的光源系统设备，一尘不染的银白设备在冷光散发奇妙无机质的机械。

机械表面很平静，盛明安等人看不到正在发生的变化，他们只能通过最终结果判断是否成功，而过程很短暂、很快速，快到频率一秒五万次！

盛明安的黑科技系统可以窥探机械的变化，它切换视角帮助盛明安光源系统设备查看实验。

视角先是银白的机械，瞬间穿复杂得宛如一个大的机械加工厂的设备，时间和空间被虚化，一片黑暗，若鸿蒙未开的混沌宇宙。

突然前方一个闪亮的光，先是四条发丝大小的曲线包围成一个圆圈，圆圈中心一亮光逐渐向外?扩张，由圆扩张成椭圆形，光越来?越盛、越来?越亮，猛然爆发闪亮耀的白光，瞬间照亮黑暗的，一条细发亮的紫光倏然蹿发光，通过圆形，光束矫正，通过能量转换……

最终击中直径30μm的靶材料（锡滴）。

视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围现?数以万计的紫细光线穿过一个又?一个圆形最后以平均两次击中同?一靶材料电离锡原，释放等离?，激发纳米级光，完成光刻机的曝光步骤。

视角再向后拉远，饶是有着先两百年的科技技术的系统也不由为这?号称工业皇冠的euv工作时的所震撼。

激光经过多?重反镜均匀化、收集，投影掩，击中靶材料，获取需求中的等离?。

接来?是利用收集镜收集等离?发散的euv辐汇聚成光源发送至光刻系统，并经由曝光系统获取最终的ic晶圆。

但盛明安的团队没有后面的两步，只设计了光源系统的实验设计。