来?了！

众人振奋！

一组报告：“二氧化碳脉冲激光无损，功率消耗在预估范围，光线利用率成功达到2%！”

二组报告：“散系统启动！散功能正常！”

三组报告：“传反馈激光和滴同?步对准，激光等离?在预估范围捕获！”

四组报告……

随着一个又?一个与仿真?预估无二的报告传众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！

众人憋着一气没声，就等着盛明安总结。

盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音宣布：“阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提音量，“我?们的科研项目，激光等离?极紫外?光刻光源是——”

“13.5nm！”

原本想呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼急促，不敢置信，纷纷以为自?己的耳朵坏了，他们现?了幻听。

盛明安语气里泻轻松的笑意：“恭喜大家。”

见众人没反应，他回，疑惑：“你们不满意吗？”

林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才说?13.5nm……不是16nm？”

同?盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院好笑地环顾众人表现?不一的样。

雷客比林成建还小声轻柔：“比asml euv的14nm还确了0.5nm？”

杜颂捂着心脏，喃喃说?：“不是吧……我?整天研究的就是这?么的玩意？”

助理姑娘掐得更?狠了，但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平??的疼痛。

“啊，”盛明安意识看向陈惊璆：“你们都有异议吗？”

陈惊璆惊讶过后便是一笑：“没有异议。他们惊喜过了。”

盛明安又?看向林成建等人，谁知他们面面相觑，陷沉默，一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊——！！！”

猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天板，要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会影响到实验室设备，实验室设备的盛明安就该拉脸，而负责掏钱买设备的陈惊璆应该会冷脸赶人去了。

但无伤大雅的此刻，他们纵容每一个团队成员尽?放纵无以言表的兴奋和激动。

第70章 山巍[02] 挽狂澜！

光源系统设备验收阶段圆满完成,接来就是阶光刻机的组装。

除了光源系统、双工作台系统和光学系统，余零件所需还有更确的镜组、反镜，以及arf光刻胶等,国暂时还没有研发来。

但这都不是问题。

因为最艰难的光源系统和双工作台系统已经被圆满攻破,剩的arf光刻胶等技术要求很,可相对来说，难度系数不是特别大。

林成建也很兴奋，他勉保持冷静,对盛明安和陈惊璆说：“光源系统设备验收通过，ic设计正在攻破20nm以的鳍式场效应晶工艺，尽量保证我们能够生?产13.5nm工艺以上更度的芯片。”

鳍式场效应晶是一防止因度工艺而导致晶失去开关作用而发明的工艺，采用3d立?晶架构，突破芯片晶的22nm工艺极限，不直接作用于光刻机，而是ic设计工程师必须掌握的一项心技术。

陈惊璆：“那就给你了。”

“放心,我会尽快解决这个技术难。”林成建现在充满信心，又对盛明安说：“保险起见，光源系统设备最好赶申请专利保护。”

盛明安：“我知的。”

光源系统设备虽有多人团队协作发明,但真?正突破该关键技术的人是盛明安，所以他是申请专利的不二人选。

程院凝视光源系统设备,久无言。

直到林成建在盛明安边提议专利申请,他才回?过神来,呼中那沉淀多年的郁气,心畅快，问盛明安：“你打算申请提前毕业？”

盛明安惊讶：“您知？”

“你是张教授的得意门生，他经常在外面嘘你，申市光机所谁不知？”程院一想起张群芳炫耀的嘴脸就想翻白,他说：“如果你想申请提前毕业，光源系统被攻破这份科研成果的确能让科大酌考量，同意你的申请。不过同意是一方面，能不能通过考试又是另一方面的事。”

提前申请毕业可以，修足学分、通过考试。

学分不足的前提提前申请毕业也可以，通过科大校、学院教授等权威人士的考验就行。

“你剩复习的时间也不多，这样，反正光源系统设备已经成功验收，接来的设备完善、光源优化由我来

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