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伊万诺夫号称自己的华夏之行是纯私人活动,但他的私人行动并不是纯粹的吃喝玩乐,他也是要
活的。
他前脚
了飞机,后脚就赶
去了位于浦东的光刻机厂。
重
任务除了看望在厂里工作的苏联工程师,对,包括俄罗斯和白俄罗斯的工程师之外,还有就是看他们的光刻机。
不是正在艰难行走中的不是193纳米波
的浸
式光刻机,而是已经开始小规模量产的玄黄光刻机。
对,就是那个365n汞灯光源,适合低端ic和s等采用035微米制程的
式光刻机。
伊万诺夫仔仔细细看了半天,小声询问旁边的厂
:“它能够一直稳定生产吗?”
厂
肯定地
:“它每小时能够
理25-30片晶圆。”
比起同期更成熟的i线机型光刻机,它的产能显然差远了。
今年尼康推
的nsr 4425i,每小时能够
理约100片晶圆。
而硅谷集团同期的i线步
扫描式光刻机,产能也达到了60片/小时。
但对于他们来说,这已经是
大的突破
的破天荒的
步了。
因为在此之前,不
是华夏还是解
前后的苏联都谈不上曾经量产过成熟的光刻机。
所以伊万诺夫表现的相当激动,直接转
问王潇:“米克朗能用吗?”
米克朗是俄罗斯硕果仅存的几家半导
企业之一,也是最大的一家。
它的前
是成立于1964年的分
电
研究所。
苏联时代,它的日
过得还不错,因为国家的大力扶持,它在70年代的时候,成为苏联首个能开发并制造可规模化应用的数字和模拟集成电路的主
。
在它的光辉历史当中,它还还研发
了苏联首个氧化
绝缘集成电路工艺,甚至引
等离
化学工艺。
苏联航天等尖端领域的电
需求,一度是靠它的技术成果支撑的。
但悲
的是,苏联解
了,受技术断代、产业链断裂影响,它的命运跟其他的半导
企业一样,陷
了衰落。
伊万诺夫当上副总理之后,从莫斯科的白
又吵到克里姆林
,
生生地给它跟另一家半导
企业安格斯特雷姆争取到了财政专项补贴,维持住了它们的基本生产。
他现在之所以只问玄黄能不能给米克朗用?是因为到目前为止,只有米克朗完成了升级,现在终于有035微米制程的工艺了,而安格斯特雷姆现
延续的依旧是05微米制程。
王潇
,非常肯定:“可以用,6月份的时候,米克朗的工程师来过,已经认可了,
了订单。”
之所以还没有开始拉货,是因为他们的钱还没到账。
之所以钱还没到账,是因为国防
欠了他们的货款。
如果不是人在光刻机厂车间,他
上穿着防护服不方便活动,伊万诺夫简直想扶额了。
该死的国防
,真不知
他们到底贪了多少。
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