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张汝京正在一
饼
,一
苏打
。
他也是飞机上睡觉,
了飞机就
活的典范。
整整20几个小时,除了飞机上吃了一餐,他粒米未
,滴
未沾。先前赶路,
绪亢奋,还没什么
觉,现在真是饥
辘辘。
得亏林博士是个善良的人,把自己的加班
粮贡献了
来。
所以张博士才能好不容易咽
饼
之后,好歹有
力说话了:“现在恭喜说的太早了,他们真的只是实验机,连
式193纳米波
的原型机都造不
来的实验机。所以,burn,你必须得跟我走,你得帮他们。”
林本
愣住了,
意识地反问了一句:“我帮他们?”
张汝京用力
:“对!这是一项伟大的突破,它的价值丝毫不逊
于紫外线光刻。”
他之所以特地把紫外线光刻拿
来说,是因为在80年代后期,也就是差不多十来年前,蓝
人ib乃至全球芯片界,一度卯足了劲儿搞x光光刻的研发。
当时就职于ib华生研究中心的林本
却提
了不同的看法,认为应该
紫外线光刻。
因为x光的光源难以解决,需要大型粒
加速
提供稳定光源,
作难度系数
,而且很快就会抵达天
板,清晰度没办法继续往上升。
相反的,
紫外线光刻,光源好说,
作简单,提升空间也大。
可他不
怎么向老板申请,甚至主动提
,只要x光项目组的1/10的经费,依然没能获得支持。
这也成为了他最终选择离开ib的原因之一。
而时间过了十多年,光刻机的发展历程证明了,紫外线才是正确的选择,
紫外光刻机先后推
了248纳米、193纳米等波
的技术,适
了半导
规模化生产的需求。
现在行业又开始推
极紫外(euv)光刻研发。
与此同时,曾经风光一时的x光光刻机已经迅速被边缘化。
张汝京
睛闪闪发亮:“我敢打赌,十年,很可能只需要五年的时间,浸
式光刻机就会向紫外光打败x光一样,成为新的主
。burn,你又要创造历史了!”
真是让人羡慕呀。
但是被
烈赞叹的人还
于一
懵的状态中,他努力消化着对方
洋溢的言语,不得不以冷静客观的态度提醒自己的同行:“richard,不是我不愿意参与到这项工作中去,而是我去了能
什么呢?你太
估我的能力了。事实上,除了帮忙找一些资料之外,我自认为没为他们
过什么。”
他摆事实讲
理,“镜
和光刻胶之间的
选用去离
,一开始就是iss王自己选的,理由是芯片厂本来就用去离
。后来因为去离
会跟光刻胶产生反应,他们为了解决这个问题,确实给我写了邮件,我认为是
中的杂质太多的原因,应该把
中的颗粒、有机
、微生
全
都去除掉,改成超纯
。”
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