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保不齐什么时候就要享受一把脑
大开的待遇。
就在奥观海烦躁之时,桌上的
通话系统突然发
了低沉的蜂鸣声。
对讲屏幕上显示
了安全顾问汤姆·多尼
的面孔。
他手指有些僵
地
开门键。
几秒钟后,多尼
的
影
现在办公室
,脸上同样写满了疲惫,
的乌青清晰可见,显然这两日未曾安眠。
“阁
。”多尼
的声音沙哑,走到办公桌前,将一份装订整齐、看上去足有上百页的文件轻轻放在奥观海面前,“这是初步调查报告,关于……华芯国际的7纳米制程。”
奥观海的视线从那迭厚重的纸张上扫过,想要伸手翻开,却在半空中就缩了回去。
他
地、无声地吁了一
气,仿佛要把
腔里积压的浊气全
排空:
“汤姆,我现在没有
力看这个……告诉我结果,直接
。”
多尼
理解地

,语速加快:“首先,
现在报
背景中的那台光刻设备,经过图像增
和特征比对,
度确认其型号标识为‘arf-1800’。这应该是华夏本土企业,如您所知的上沪微电
集团,在原有arf浸没式光刻技术平台上的迭代升级型号。”
“迭代升级……”奥观海眉
锁,他对这些专业设备型号的记忆并不
刻,“不是euv?”
多尼
摇摇
,解释
,“虽然其
心曝光机柜的
积相比arf-1500或者asl的nxt:1980di有明显缩减,但公开图像的角度过于单一,且缺乏近距离细节,特别是
心光学镜组、工件台运动系统和实时调平反馈等关键
件的清晰视图,所以无法单从外观锁定其类型,不过,arf是典型的duv光源……”
奥观海烦躁地挥了挥手,像是要驱散
前恼人的烟雾:
“算了,我不想听这些技术细节……汤姆,我只想知
,他们到底是怎么
到的?”
“去年,就在去年!我们的专家团还信誓旦旦地向我保证,华夏在euv技术路线上至少落后十年,在duv上即便能推
到7n,良率也绝对达不到经济量产的
平!现在呢?第二条产线都要建了!”
他的声音不由自主地
,带着压抑不住的怒火和挫败
。
多尼
受到了总统的怒火,赶
到重
:“
据我们目前掌握的
报线索和初步研判,基本可以排除asl或者其
心供应商直接向华夏转让euv
心技术的可能
,
密的链条和规模都无法支撑如此快速的产业化落地。”
他翻开报告,指向其中一段加
的结论:
“技术顾问组认为,最大的可能
在于,华夏方面在duv多重曝光路线的关键环节取得了突破
展,例如ald技术可以在原
尺度
确控制薄
沉积的厚度和均匀
,这对于多重曝光中作为间隔层或
掩模的材料至关重要,再结合超
度的刻蚀技术,有可能将多重曝光的负面效应降到可以接受的程度。”
“多重曝光?”奥观海对这个词有些印象,“我记得……之前也有人提过这
技术路线,但结论是代价
昂,良率无法保证?”
“是的,阁
,这是先天原理所决定的。”多尼


,随后又补充
,“而且,这
基于duv多重曝光的技术路径存在天然的天
板,随着制程
一步微缩,比如向等效5纳米或更先
节
迈
,图形拆分将变得极其复杂甚至不可能……”
这看似是在传递一个好消息。
奥观海的
神明亮了一瞬间,但很快又黯淡
去:
“问题是,市场现在已经
严重非理
的恐慌状态,所以这些细节恐怕已经无法挽回崩盘的市场信心了,必须得先
什么让
绪冷静
来,然后再慢慢挽回局势……”
一句话说到最后连他自己都没什么信心了。
每个人现在都想要挽回局势,但问题是手
本无牌可打。
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