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学霸的军工科研系统 第1493(1/3)

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保不齐什么时候就要享受一把脑大开的待遇。

就在奥观海烦躁之时,桌上的通话系统突然发了低沉的蜂鸣声。

对讲屏幕上显示了安全顾问汤姆·多尼的面孔。

他手指有些僵开门键。

几秒钟后,多尼现在办公室,脸上同样写满了疲惫,的乌青清晰可见,显然这两日未曾安眠。

“阁。”多尼的声音沙哑,走到办公桌前,将一份装订整齐、看上去足有上百页的文件轻轻放在奥观海面前,“这是初步调查报告,关于……华芯国际的7纳米制程。”

奥观海的视线从那迭厚重的纸张上扫过,想要伸手翻开,却在半空中就缩了回去。

地、无声地吁了一气,仿佛要把腔里积压的浊气全排空:

“汤姆,我现在没有力看这个……告诉我结果,直接。”

多尼理解地,语速加快:“首先,现在报背景中的那台光刻设备,经过图像增和特征比对,度确认其型号标识为‘arf-1800’。这应该是华夏本土企业,如您所知的上沪微电集团,在原有arf浸没式光刻技术平台上的迭代升级型号。”

“迭代升级……”奥观海眉锁,他对这些专业设备型号的记忆并不刻,“不是euv?”

多尼摇摇,解释,“虽然其心曝光机柜的积相比arf-1500或者asl的nxt:1980di有明显缩减,但公开图像的角度过于单一,且缺乏近距离细节,特别是心光学镜组、工件台运动系统和实时调平反馈等关键件的清晰视图,所以无法单从外观锁定其类型,不过,arf是典型的duv光源……”

奥观海烦躁地挥了挥手,像是要驱散前恼人的烟雾:

“算了,我不想听这些技术细节……汤姆,我只想知,他们到底是怎么到的?”

“去年,就在去年!我们的专家团还信誓旦旦地向我保证,华夏在euv技术路线上至少落后十年,在duv上即便能推到7n,良率也绝对达不到经济量产的平!现在呢?第二条产线都要建了!”

他的声音不由自主地,带着压抑不住的怒火和挫败

多尼受到了总统的怒火,赶到重:“据我们目前掌握的报线索和初步研判,基本可以排除asl或者其心供应商直接向华夏转让euv心技术的可能密的链条和规模都无法支撑如此快速的产业化落地。”

他翻开报告,指向其中一段加的结论:

“技术顾问组认为,最大的可能在于,华夏方面在duv多重曝光路线的关键环节取得了突破展,例如ald技术可以在原尺度确控制薄沉积的厚度和均匀,这对于多重曝光中作为间隔层或掩模的材料至关重要,再结合超度的刻蚀技术,有可能将多重曝光的负面效应降到可以接受的程度。”

“多重曝光?”奥观海对这个词有些印象,“我记得……之前也有人提过这技术路线,但结论是代价昂,良率无法保证?”

“是的,阁,这是先天原理所决定的。”多尼,随后又补充,“而且,这基于duv多重曝光的技术路径存在天然的天板,随着制程一步微缩,比如向等效5纳米或更先,图形拆分将变得极其复杂甚至不可能……”

这看似是在传递一个好消息。

奥观海的神明亮了一瞬间,但很快又黯淡去:

“问题是,市场现在已经严重非理的恐慌状态,所以这些细节恐怕已经无法挽回崩盘的市场信心了,必须得先什么让绪冷静来,然后再慢慢挽回局势……”

一句话说到最后连他自己都没什么信心了。

每个人现在都想要挽回局势,但问题是手本无牌可打。

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