这系统比asl的euv机台大了足足三倍，这是由于采用了功率更的紫外混合激光发生系统，更复杂的透镜系统，和更牢固的刻蚀引擎。

罗佳的演讲永远充满货，节奏飞快，刚才他还在讲北陶氏化学，断供poe弹的事，广义上的poe，是指乙烯辛烯共聚、乙烯丁烯共聚，乙烯己烯共聚等等。

它们都是聚烯烃类弹，用来pa尼龙增韧剂，pp抗冲改，eva挤，pe之类的产品。

目前全世界仅有六家厂商生产，并且全都是外企，我国对poe年需求量在二十万吨，全必须靠。

陶氏化学作为全球最大的poe供应商，突然断供，对我国影响大，所以星辰化学现在临危受命，准备搞技术攻关。

另外罗佳还说，从这件事上要学会居安思危，拉尼斯集团的醋酸纤维丝，超分量聚乙烯，聚苯硫醚pps，英威达和奥盛德集团的pa66，伊斯曼集团的pctg和petg，这些化工产品也要尽快完成替代。

反正罗佳是从化学，直接就到了光刻机，把正聚会神听讲的观众们吓了一大，以为罗佳还要再扯一会儿呢，竟然直接正题了。

“我知，很多西方同行在怀疑，我们这究竟是不是真正的第四代光刻系统。”罗佳大声宣布：“现在，怀疑的人可以睁大睛看清楚了，这是如假包换的第四代，超级紫外混合激光刻蚀曝光系统！”

“如这张简要设计图所示，我们在这系统中，创造了波为零五纳米的超紫外混合激光，其度，是目前全球最先，asl集团euv机台的整整二十七倍！”

“而为了获得比极紫外更的光源，星辰光学团队研发了cst全反变焦镜组件，变焦十六倍，数值孔径零零三三，最大曝光范围七十六乘以九十三毫米！”

“这透镜，是德国卡尔蔡司透镜能的，整整三十倍！”

企业界在行动 国家队也有大动作

总的来说，第四代光刻机技术指标，是第三代euv的二十倍左右。

这就好比车和火车的迭代，差距是全方位的，更短的波只是一表象，最惊人的创举在于，星辰科技突破了曝光功率的理限制。

普通百姓们或许并不清楚，从第一代到第三代光刻机，其实都是大力奇迹的结果。

就拿第三代euv来说，极紫外光是超大功率的电老虎，250w的机台每工作一天，就要耗费达三万度的电力，而且还需要一积惊人的散系统辅助。

技术不够，功率来凑，一直是光刻机发展的逻辑，在星辰科技之前，没有任何企业真正解决过这个问题，工程师们的思路通常简单暴，他们想要更确地曝光效果，就不断的提功率，制造更大的光源发生，打磨更良的透镜。

星辰科技之所以能够彻底解决问题，是因为他们没有延续大功率光源过爆的传统，而是直接采用了激光。

从本质上来来说，星辰科技的第四代光刻系统，就是一激光散平台，这玩意儿不仅能刻蚀硅晶圆，工艺改良之后，甚至还能发展激光武。

当然，从激光刻蚀平台到激光武之间，还有很的科技树要攀爬，并不能够一蹴而就。

“是激光散！华夏人用了激光技术！”

“零五纳米的激光刻蚀？那岂不是意味着，星辰科技有能力把芯片的指标，推到零一纳米，甚至更低？”

“完全无法想象，设计端跟上的话，需要多少心，他们就能制造多少个心，将128心理手机，也不再是痴人说梦了。”

“这太了吧？”

“星辰科技！”

尽大多数吃瓜群众听不懂罗佳报的技术参数，但专业人士却很快明白了这光刻系统的厉害之。

延续了几十年的光刻技术，从此脱胎换骨了，紫外光刻蚀即将退历史舞台，未来必将属于星辰科技的激光刻蚀技术。

芯片这主导了人类科技的尖产品，将在工艺方面达到崭新的度，一纳米，零一纳米，甚至零零一纳米的芯片产品，将取代现有的七纳米技术，功耗，理能力，发，都会得到跨越式提。

未来已来，华夏的科技同仁们为之呼振奋，而西方世界却陷了的恐惧，他们万万没有想到，今天星辰科技拿来的，竟然是真正的第四代技术，而且技术等级之，几乎可以用奇迹来形容。

“完全听不懂呢，但这么多人发弹幕撒，是很厉害的意思吗？”

随着罗佳的介绍继续，吃瓜群众们不明觉厉，纷纷打听。

“何止是厉害，星辰科技大了！第四代光刻技术不仅硅晶圆能用，日后发展更先的石墨烯晶圆，分碳

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