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“不稳定,没有稳定的光源,那会影响光刻品质,最终芯片品质也不能得到保障。”
不能得到质量保证的芯片,那就是残次品,甚至是废品,就不应该
厂。
“这位科学家提
的法
很好,不过……”秦蓁趴在桌上观察玻璃杯里的
,“想要稳定光源需要
费更多的时间。这么看来,
尔定律金
都要被破个
净了。”
尔定律有过变更,拿最宽泛的来说,集成电路两年翻一倍。
如今都多少年来,困囿于193nm始终没什么突破。
金
从里到外破了个
净。
“这也没什么,三角形
角之和一百八十度,这是公认的事实,但如果是在曲面上,这个事实就成了谬论,人的认知总是在
步的,就像是社会和科学一样,螺旋曲折上升。”
秦蓁看着跟自己讲起了哲理的人笑了起来,她端起了放在那里的玻璃杯,里面是一杯凉白开。
“师兄,你说我要是能帮
尔先生重塑金
,他是不是得
谢我?”
“什么?”
沈航放
手里的杂志看去,只见秦蓁晃动着玻璃杯,透过双重玻璃他几乎看不清秦蓁脸上的神
,但能听得
,她的声音中带着笑意,“我有法
突破193nm,甚至直接越过157nm。”
沈航蓦的站起
来,居
临
的看着秦蓁,他听到自己声音都变了几分,“真的?”
“骗你
嘛?”秦蓁晃动
杯,“你觉得这
怎么样?”
?
沈航一时间没能明白过来,他甚至傻乎乎的接过
杯喝了一
,“没放糖。”
秦蓁被他这话逗乐了,“好啦,知
你喜
吃甜的,等解决了这个问题我请你吃糖醋鱼、糖醋里脊总行了吧?你先回答我一个问题。”
沈航神
凝重,“你说。”他觉得自己声音

的。
“咱们默认的,光在空气中折
率为1对吧?”
“嗯。”
“那在
中呢?”
“
作为介质,折
率是1.33。”这是初中
理的
容。
沈航忽的明白过来,“你的意思是,我们用
介质,控制光的波
?”
他的声音带着几分尖锐,一双
睛却是充了血。
对面秦蓁气定神闲,“对呀,有谁规定不能用
吗?我说了,我肯定能超越193nm,没骗你吧?”
作者有话要说: 提
以
为介质的
刻法的是ww的林本
大佬,不过一开始也没被业
接受就是了,四
碰
直到和A S M L合作。
第202章 从芯开始42
光源问题困扰整个产业十多年。
甚至以英特尔、IBM为首的
国企业成立了EUV LLC联盟, 试图通过研究极紫外光,越过193nm这一关。
尼康则是
持循序渐
,专注于研究157nm的F2激光, 稳健发展。
只不过研究了这么些年,都没
展。
没人知
前景在何
。
当初弗兰克给秦蓁画的也不过是一张大饼而已,甚至希望借助于秦蓁的能力,看能否在极紫外光的研究上有所突破。
秦蓁婉拒了荷兰那边, 并且以此为要挟,换的尼康和佳能帮自己采购一些机床设备和零
件。
她当然不会去当别人家的打工人,给别人打工有什么好, 自己创业不好吗?
她有那么
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